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Kapitel 19
Das Vakuum
In der Praxis unterscheidet man im Wesentlichen drei Vakuumbereiche:
– Gebläsestärke (0 bis -20 kPa):
für Ventilation, Kühlung, Reinigung
– Industrievakuum (-20 bis -99 kPa): zum Heben,
Festhalten, Automatisieren
– Prozessvakuum (-99 kPa): Hochvakuum für Labors,
bei der Mikrochip-Herstellung, Molekularbeschichtung usw.
Ein Vakuum wird mithilfe mechanischer Pumpen mit saugender, blasender oder ver-
drängender Wirkungsweise oder mit pneumatischen Pumpen, wie z. B. ein- oder
mehrstufigen Ejektoren, erzeugt.
Saugende und blasende Pumpen erzeugen ein geringes Vakuum, während Verdrän-
gerpumpen wie z. B. Kolbenpumpen oder Drehschieberpumpen zur Erzeugung von
Industrievakua mit hohem Volumenstrom eingesetzt werden.
Pneumatisch wirkende Pumpen arbeiten mit Druckluft und machen sich das Ventu-
riprinzip zur Erzeugung eines Unterdrucks zunutze.
Vakuumerzeuger, die nach dem Venturiprinzip arbeiten, bieten zahlreiche Vortei-
le: einfache, wettbewerbsfähige Technologie, keine Verschleißproblematik (da keine
drehenden Teile), platzsparende Abmessungen, direkt einbaufähig in bewegliche und
kompakte Geräte wie Robotersysteme. Vakuumejektoren ermöglichen kürzere Lei-
tungslängen und schnellere Ansprechzeiten. Man unterscheidet zwischen einstufigen
und mehrstufigen Ejektoren. Bei den einstufigen Ejektoren strömt die eingeleitete
Luft durch eine einzige Venturidüse und erzeugt vor ihrem Austritt einen Unterdruck
am Vakuumanschluss. Bei den Mehrstufenejektoren strömt die Luft durch zwei oder
mehr nacheinander angeordnete Düsen, die ein größeres Saugvolumen am Vakuum-
anschluss erzeugen. Diese Ejektoren haben die Eigenschaft, dass sie bei Saugbeginn
einen großen Volumenstrom bei geringem Unterdruck ermöglichen, wodurch sich die
Evakuierungszeit verringert. Bevorzugtes Anwendungsgebiet sind große Anlagen.
Dabei sind Vakuumqualitäten bis zu -92 kPa erzielbar. Ejektoren erfüllen eine Vielzahl
vakuumtechnischer Regel- und Steueraufgaben; sie eignen sich optimal für das Auf-
nehmen und Bewegen von Teilen in zahlreichen industriellen Anwendungsgebieten.
Tecnica del vuoto
Principio di funzionamento